Share This
Связаться со мной
Крути в низ
Categories
//Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

22.03.2021Category : My Habr

Applied Materials внедряет в свое производство технологию ExtractAI, в которой используется комбинация оптических инструментов Enlight, системы анализа дефектов SEMVision G6/G7 и глубокого обучения. Она позволяет быстро и на ранних стадиях найти недостатки при проектировании кристаллов микросхем.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem 197e968 - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Применяемые обычно инструменты оптического контроля не позволяют получить достаточно детальное разрешение изображения, а инструменты электронного и многолучевого контроля высокого разрешения работают относительно медленно. Новая система снижает затраты и время проверки кристалла.

По словам представителей Applied Materials, их решение позволяет не только обнаруживать и классифицировать критические дефекты, но также адаптируется к изменениям процесса в режиме реального времени.

В настоящее время на разработку усовершенствованного чипа уходят годы, а на изготовление партии — несколько месяцев. У разработчика микросхем может быть эффективная архитектура, но им важно обеспечить также быстрый выход чипов, чтобы не потерять долю рынка.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem 630821c - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Applied Materials сообщает, что число этапов разработки кристалла увеличилось на 48% с 2015 по 2021 год. сканеры, используемые для создания микросхем, и инструменты проверки претерпели значительные изменения и стали дороже. Цена высококачественной оптической системы контроля за последние шесть лет увеличилась на 56%, что, в свою очередь, увеличило стоимость сканирования пластины на 54% за тот же период.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem cad18f2 - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

На ранних стадиях обнаружить дефект мешают шумы, которые влияют на работу средств оптического контроля. Инженерам приходится применять определенные модели фильтрации для сокращения наборов данных, с которыми они работают.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem e265b84 - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Applied Materials объединила свою систему оптического контроля пластин Enlight с новой технологией ExtractAI. ПО использует глубокое обучение, чтобы попытаться лучше интерпретировать результаты оптических сканеров. Enlight делает снимок пластины с высоким разрешением и быстро создает базу данных потенциальных дефектов.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem 76890c4 - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Затем пластина отправляется в систему SEMVision G6/G7, которая отличает дефекты от шумов и классифицирует их. Изображения и данные, захваченные Enlight и SEMVision G6/G7, передаются в ExtractAI, чтобы обучить его автоматически распознавать определенные дефекты на карте пластин, созданной с помощью аппаратных систем.

applied materials podkljuchila ii k proverke plastin pri izgotovlenii kristallov mikroshem e85d49a - Applied Materials подключила ИИ к проверке пластин при изготовлении кристаллов микросхем

Как заявили в Applied Materials, этот набор инструментов уже используется на фабриках в Южной Корее, Тайване и США.

Компания приступила к разработке системы Enlight с ExtractAI в 2016 году, а ее коммерческие поставки стартовали в первом квартале 2020 года. Ожидается, что к концу первого квартала 2021 года совокупные продажи инструмента проверки превысят $400 млн.

  • 2 views
  • 0 Comment

Leave a Reply

Ваш адрес email не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Этот сайт использует Akismet для борьбы со спамом. Узнайте, как обрабатываются ваши данные комментариев.

Свежие комментарии

    Рубрики

    About Author 01.

    Roman Spiridonov
    Roman Spiridonov

    Привет ! Мне 38 лет, я работаю в области информационных технологий более 4 лет. Тут собрано самое интересное.

    Our Instagram 04.

    Categories 05.

    © Speccy 2020 / All rights reserved

    Связаться со мной
    Close